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真空电镀时出现掉膜是怎么回事?
已有 10 次阅读 |0个评论 | 2019-08-10 16:51:32

  真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:      一:表面清洁度      产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。      二:清洗过程中的问题      镀前清洗不到位,或更换了清洗液。      三:工艺的问题      工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。      四:靶材的问题      钛靶是否中毒,检查和更换。      五:真空腔是否漏气      进行一次捡漏。      六:产品表面氧化      氧化的原因很多,可以自行判断处理。

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